热门搜索:
茂名合金靶材批发价格
茂名合金靶材批发价格 合金靶材作为一种重要的溅射靶材,在..珠海钽靶材厂家
珠海钽靶材厂家——专业研发生产高品质钽靶材作为一家专业..清远镍钒合金靶市场价格
清远镍钒合金靶市场价格随着科技的飞速发展,镍钒合金靶作..揭阳高纯铬靶批发
揭阳高纯铬靶批发:打造高品质薄膜材料的可以选择在当今科..梅州镍钒合金靶厂家
梅州镍钒合金靶厂家——打造优质靶材,助力科技发展 作为一..佛山铬铝靶
佛山铬铝靶:铬铝靶材的高质量生产与广泛应用 佛山铬铝靶,..陶瓷靶材市场价格
陶瓷靶材市场价格 随着科技的不断发展和工业的不断进步,陶..阳江钛铝靶厂
阳江钛铝靶厂:**钛铝靶行业的科技创新 阳江钛铝靶厂是一家..潮州铬靶材厂家
潮州铬靶材厂家:致力于高品质铬靶材的研发与生产作为一家..汕头贵金属靶材批发价格
汕头贵金属靶材批发价格 贵金属靶材作为一种重要的高端材料..
靶材制作工艺
控溅射靶材
在被溅射的靶较(阴极)与阳极之间加一个正交磁场和电场,在高真空室中充入所需要的惰性气体(通常为Ar气),*磁铁在靶材料表面形成250~350高斯的磁场,同高压电场组成正交电磁场。
在电场的作用下,Ar气电离成正离子和电子,靶上加有一定的负高压,从靶较发出的电子受磁场的作用与工作气体的电离几率增大,
在阴极附近形成高密度的等离子体,Ar离子在洛仑兹力的作用下加速飞向靶面,以很高的速度轰击靶面,使靶上被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离靶面飞向基片淀积成膜。
磁控溅射一般分为二种:直流溅射和射频溅射,其中直流溅射设备原理简单,在溅射金属时,其速率也快
。而射频溅射的使用范围更为广泛,除可溅射导电材料外,也可溅射非导电的材料,同时还可进行反应溅射制备氧化物、氮化物和碳化物等化合物材料。
若射频的频率提高后就成为微波等离子体溅射,
如今,常用的有电子回旋共振(ECR)型微波等离子体溅射。
金属溅射镀膜靶材,合金溅射镀膜靶材,陶瓷溅射镀膜靶材,硼化物陶瓷溅射靶材,碳化物陶瓷溅射靶材,氟化物陶瓷溅射靶材,氮化物陶瓷溅射靶材,氧化物陶瓷靶材,硒化物陶瓷溅射靶材,硅化物陶瓷溅射靶材,硫化物陶瓷溅射靶材,碲化物陶瓷溅射靶材,其他陶瓷靶材,掺铬一氧化硅陶瓷靶材(Cr-SiO),磷化铟靶材(InP),砷化铅靶材(PbAs),砷化铟靶材(InAs)。
手机网站
地址:广东省 东莞市 东莞市南城区民间金融大厦
联系人:肖先生先生
微信帐号: