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产品描述
东莞市鼎伟靶材有限公司是专业生产高纯金属材料,蒸发镀膜材料以及溅射靶材的**企业应用开发的科技型民营股份制工贸有限公司。公司以青岛大学和青岛科技大学蒸发材料专业为技术依托,拥有多名中高级专业技术人员和专业化应用实验室,具有很强的蒸发材料开发能力。公司先后研发的蒸发材料、溅射靶材系列产品广泛应用到国内外众多**电子、太阳能企业当中,以较高的性价比,成功发替代了国外进口产品,颇受用户好评。 沧州AU靶材 东莞市鼎伟靶材有限公司 联系人:肖先生 手机: 电话: 网站 邮箱: 地址:东莞市南城区民间金融大厦 公司主要经营产品: 一、真空镀膜材料 1.高纯真空溅射靶材(99.9%——99.999%) 高纯金属靶材:锆靶Zr、铬靶Cr、钛靶Ti、铝靶Al、锡靶Sn、钒靶V、锑靶Sb、铟靶、硼靶B、钨靶W、锰靶Mn、铋靶Bi、铜靶Cu、石墨靶C、硅靶 Si、钽靶 Ta、锌靶Zn、镁靶Mg、铌靶Nb、钼靶Mo、钴靶Co、铁靶Fe、锗靶Ge、铪靶Hf、铅靶Pb、镍靶Ni、银靶Ag、硒靶Se、铍靶Be、碲靶Te、不锈钢靶材S.S等…… 多元合金靶材: 钛铝靶Ti-Al、钛锆靶Ti-Zr、钛硅靶Ti-Si、钛镍靶Ti-Ni、镍铬靶Ni-Gr、镍铝靶Ni-Al、镍钒靶Ni-V、镍铁靶Ni-Fe、铁钴靶Fe-Co、铝硅靶Al-Si、钛硅靶Ti-Si、铬硅靶Cr-Si、锌铝靶Zn-Al、钛锌靶材Ti-Zn、铝硅铜靶Al-Si-Cu等…… 陶瓷溅射靶材:ITO靶、单晶硅靶、多晶硅靶、一氧化硅靶SiO、二氧化硅靶SiO2、二氧化钛靶TiO2、氧化锆靶ZrO2、二硼化钛靶TiB2、氧化镁靶MgO、碳化硼靶BC、氮化硼靶BN、碳化硅靶SiC、三氧化二钇靶Y2O3、五氧化二钒靶V2O5、氧化锌靶ZnO、硫化锌靶ZnS、硫化钼靶MoS、硫化钨靶WS、氧化锌铝靶ZAO、氧化铝靶Al2O3、钛酸锶靶SrTiO3、五氧化二钽靶Ta2O5、五氧化二铌靶Nb2O5、氧化锌镓靶ZGO、氧化锌硼靶ZBO、砷化镓靶GaAs,磷化镓靶GaP,硒化锌靶、锰酸锂靶、镍钴酸锂靶、钽酸锂靶,铌酸锂靶、等… 稀土金属靶:镧靶、铈靶、镨靶、钕靶、钐靶、铕靶、钆靶、铽靶、镝靶、钬靶、铒靶、铥靶、镱靶、镥靶、钇靶等… 稀土氧化物靶:氧化镧靶、氧化铈靶、氧化镨靶、氧化钐靶、氧化铕靶、氧化钕靶、氧化钆靶、氧化铽靶、氧化镝靶、氧化钬靶、氧化铒靶、氧化铥靶、氧化镱靶、氧化镥靶 金属膜电阻器用Ni-Cr-Si/ Ni-Cr-Mn-Cu溅射靶材: 金属膜电阻器用靶材包括高阻系列(ZYG)、中阻系列(ZYZ)和低阻系列(ZYC)、**低阻系列(ZYCD)。 2.高纯光学镀膜材料(99.99%——99.999%) 氧化物:一氧化硅、二氧化硅、一氧化钛、二氧化钛、三氧化二钛、五氧化三钛、二氧化锆、二氧化铪、二氧化铈、二钛酸镨、三氧化钨、五氧化二钽、五氧化二铌、三氧化二钪、三氧化二铝、三氧化二铟、氧化镱、氧化锌、氧化镁、氧化钆、氧化钐、氧化钕、氧化钙、氧化镨、氧化铋、氧化铬、氧化镍、氧化铜、氧化铁、氧化钒等… 氟化物:氟化镁、氟化钙、氟化钕、氟化镧、氟化镱、氟化钇、氟化铒、氟化钐、氟化镝、氟化铈、氟化钡、氟化锶、氟化钾、氟化钠等… 硫化物:硫化锌、硫化钼、硫化钙、硫化锑、硫化铁、硫化钠等… 贵金属:金、银、铂、钌、铑、钯、锇、铱 高纯金:金靶、金粒、金丝、金电极、金片、金粉 纯度:3N 、3N5、4N、4N5、5NT(不是联系方式) 规格:金靶(平面圆靶,方靶,旋转靶,台阶靶均可加工,规格按客户要求定做) 金粒(规格Φ2*5mm,Φ2*10mm,其他规格定做) 金丝(Φ0.2mm、Φ0.3mm、Φ0.5mm、Φ1mm其他规格定做) 金片(根据客户要求定做) 金粉(根据客户要求定做) 靶材是电子工业实现各种功能镀膜的材料,因此靶材行业的发展主要还是依赖于下游应用产业的进步。而近年来新材料、微电子的发展,各种光电薄膜、磁性薄膜以及电子薄膜在这些**领域广泛应用。**产业的发展,也让靶材的生产逐渐趋于专业化。可以说,靶材行业是微电子产业的关键支撑。 据《中国靶材行业报告》的统计,我国靶材产业的市场规模逐年扩大,仅溅射靶材在半导体集成电路领域的应用规模目前就已经达到十多亿元。作为制备和生产功能薄膜的方法之一,溅射法广泛应用于许多领域。它是目前制备金属薄膜较常用的工艺。作为高技术用的靶材是一种全新的概念。随着高技术用新材料突飞猛进的发展,世界靶材的市场销售规模日益扩大 【原创内容】 要确保在靶材和溅射枪冷却壁之间建立很好的导热连接。如果用冷却壁的翘曲程度严重或背板翘曲严重会造成靶材安装时发生开裂或弯曲,背靶到靶材的导热性能就会受到很大的影响,是无氧铜,因为无氧铜具有良好的导电性和导热性,而且比较容易机械加工。如果保养适当,无氧铜背靶可以重复使用10次甚至更多。钼(Mo)–在某些使用条件比较特殊的情况下,如气体(氩气或氧气)必须清洁并干燥,溅镀腔内装入基材后便需将空气抽出,达到工艺所要求的真空度。暗区屏蔽罩,腔体壁及邻近表面也需要保持洁净。在清洗真空腔体时我们建议采第二步与第一步类似用酒精清洁;第三步用去离子水清洗。在用去离子水清洗过后再将靶材放置在烘箱中以100摄氏度烘干30分钟。氧化物及陶瓷靶材的清洗建洁用“无绒布”进行导致在溅射过程中热量无法散发较终会造成靶材开裂或脱靶为确保足够的导热性,可以在阴极冷却壁与靶材之间加垫一层石墨纸。请注意一定要仔细检查和明确所使用溅射枪冷却壁的清洁。第四步在清除完有污垢的区域后,再用高压低水气的氩气冲洗靶材,以除去所有可能在溅射系统中会造成起弧的杂质微粒三、靶材安装靶材安装过程中较重要的注意事项是一定平整度,同时确保O型密封圈始终在位置上。四、短路及密封性检查靶材完成安装后需要对整个阴极进行短路检查及密封性检查,建议通过使用电阻仪摇表的方式对阴极是否存在短用户对背靶的检查结果,如我们发现有需要维修的地方会书面通知客户并提供维修报价。影响靶材中毒的因素主要是反应气体和溅射气体的比例,反应气体过量就会导致靶中毒。反应
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