钛铝合金在真空镀膜行业也应用较广，可以做成一定比例的合金靶材，作磁控溅射镀膜的原材料。在做真空镀膜靶材时钛铝合金有多种成分比例，常用的有钛铝原子比（at%）：90：10、80：20、70：30、50：50、30：70、20：80、10：90
钛铝合金靶材---钛铝(Titanium Aluminide)是金属间化合物;它有三种形态;加玛钛铝，阿路法2-Ti3Al和TiAl3.其中加玛钛铝令人感兴趣，也已得到实际应用。加玛钛铝具有优越的机械性能;密度低;只有4.0g/cm3;温度**过600度摄氏时的抗氧化和抗腐蚀能力仍很强。可代替传统的以镍为基的高温合金;加玛钛铝已用来制造787和747-8飞机的低压涡轮桨片.
钛铝合金靶材70：30at% 主要用做装饰镀膜 和工具镀膜上面
钛铝(Titanium Aluminide)是一种金属间化学化合物。它们有三种结构;加玛TiAl，阿路法2-TiAl和TiAl3;其中加玛TiAl的性能令人感兴趣，它较轻，抗氧化;耐高温，但延展性较差。
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